621.38/М749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупрводниковых приборов и микрсхем [Текст] : учеб.для сред.ПТУ / О.К. Мокеев, А.С. Романов. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Профтехобразование). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Учебники и пособия
   Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Учебники и пособия


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 3
ХР (3)
Свободны: ХР (3)