621.315/Р598

   Рогов, В. В.

    Механическая обработка полупроводниковых материалов [Текст] / В.В. Рогов. - М. : ГУП НПП "Пульсар", 2003 - .
   Ч.1 : Резка монокристаллов на пластины. - 79 с. : ил. - Библиогр.: с. 78-79 (23 назв.). - 845.60 Тг
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые материалы--Механическая обработка
   Монокристаллы--Резка


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)