Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. для сред. ПТУ / О.К. Мокеев; О.К. Макеев, А.С. Романов. - 2-е изд. перераб. и доп. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Проф.-техн.образование). - 0.60 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные -- интегральные схемы Держатели документа: Карагандинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Романов, А.С. Экземпляры всего: 2 08-ХР (2) Свободны: 08-ХР (2) |