621.382/М749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. для сред. ПТУ / О.К. Мокеев; О.К. Макеев, А.С. Романов. - 2-е изд. перераб. и доп. - М. : Высш.шк., 1985. - 312 с. : ил. - (Проф.-техн.образование). - 0.60 р.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Фотолитография--учебники
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные -- интегральные схемы

Держатели документа:
Карагандинский филиал РНТБ Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 2
08-ХР (2)
Свободны: 08-ХР (2)