А 22 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для вузов / Под ред. А.А.Сазонова. - М. : Высш.шк., 1991. - 334 с. - ISBN 5-06-000731-6 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): Электроника -- интегральные микросхемы -- приборы -- устройства Держатели документа: Семипалатинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Сазонова, А.А. \ред.\ Экземпляры всего: 2 12ХР (2) Свободны: 12ХР (2) |