621.38/Г616
   Г 61


    Голото, И. Д.
    Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] : монография / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - М. : Энергия, 1975. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с.203-207 (90 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Докучаев, Б.П.; Колмогоров, Г.Д.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)