Берлин, Е. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии [Текст] / Е.В. Берлин, Л.А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 528 с. - (Мир материалов и технологий). - ISBN 978-5-94836-222-9 : 4235 тенге
Ионно-плазменные процессы Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- процессы в плазме -- мультианодное распыление -- растущая пленка -- магнетронное распыление -- оксинитриды -- структура тонких пленок -- нанесение пленки -- вакуумные установки -- источники плазмы Держатели документа: Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Сейдман, Л. Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |