621.38/С956
   С 95


    Сысоев, В. В
    Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] : монография / В.В Сысоев. - М. : Радио и связь, 1982. - 119 с. : ил. - Библиогр.: с.114-117 (67 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 3
ХР (3)
Свободны: ХР (3)