Ф 81 Фоторезисты-дифузанты в полупроводниковой технологии [Текст] : монография / Е. Г. Гук [и др.]; ред. А. В. Ельцов ; АН СССР. Физ.-техн.ин-т им. А.Ф.Иоффе. - Л. : Наука.Ленингр.отд-ние, 1984. - 117 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.
Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Гук, Е.Г.; Ельцов, А.В. \ред.\; АН СССР. Физ.-техн.ин-т им. А.Ф.Иоффе Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |