св621.3/Б418
   Б 41


    Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович.
    Структурные и физические свойства пленок SiCx и SuOx, синтезированных различными методами. Спец. 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах [Текст] : автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук / Н. Б. Бейсенханов. - Алматы, 2011. - 31 с. -
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Твердотельная электроника

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана
Экземпляры всего: 1
СВ (1)
Свободны: СВ (1)