621.38/М 749

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб.пособие для техн.училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высш.шк., 1979. - 272 с. : ил. - (Профтехообразование: Радиоэлектроника). - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводниковые приборы
   Микроэлектронные схемы


Держатели документа:
Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана

Доп.точки доступа:
Романов, А.С.
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)