Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [Текст] : учебное пособие для студентов вузов / В.А. Галперин, Е.В. Данилкин, А.И. Мочалов ; Под ред. проф. С.П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. - 283 с. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 2650.00 тг.
Кл.слова (ненормированные): плазма -- сухое травление -- методы контроля -- плазмохимическое травление кремния -- сухое травление полимеров Держатели документа: Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Данилкин, Е.В.; Мочалов, А.И.; Тимошенков, С.П. \ред.\ Экземпляры всего: 1 ЧЗ (1) Свободны: ЧЗ (1) |