Г 124 Гаврилов , А. С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / А. С. Гаврилов , А. Н. Белов. - 2-е изд. - М. : РИОР ; М. : Инфра-М, 2014. - 240 с. - ISBN 978-5-369-01299-4 (РИОР). - ISBN 978-5-16-009298-0 (ИНФРА-М, print) : 2300.00 тг. Содержание: Законы и положения теории электродных процессов Кл.слова: диаграммы электрохимического равновесия, полупроводниковые электроды Процессы анодного растворения и технологии микро- и наноструктур Кл.слова: кремниевые нанострруктуры, растворы HP Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур Кл.слова: поверхность металлов, зондовое окисление, пористый анодный оксид алюминия Катодное осаждение в технологии микро-и наноструктур Кл.слова: осаждение меди, катодное осаждение сплавов, LIGA-технологии
Кл.слова (ненормированные): наноразмерные кластеры металлов -- поверхность полупроводников -- матричное осаждение -- нитевидные нанокристаллы -- постоянный ток -- реверсивный режим Держатели документа: Восточно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Белов, А. Н. Экземпляры всего: 1 05-ОБ (1) Свободны: 05-ОБ (1) |