Т38 Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб.пособие для ПТУ:В 10 кн. - М. : Высш.шк., 1989 - . Кн.5 : Термические процессы / С.Н.Никифорова-Денисова,Е.Н.Любушкин. - 1989. - 95 с. : ил. - ISBN 5-06-000307-8 : Б. ц.
Микроэлектронная аппаратура--Производство Держатели документа: Западно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Никифорова-Денисова, С.Н. Экземпляры всего: 3 07АБ (2), 07ЧЗ (1) Свободны: 07АБ (2), 07ЧЗ (1) |