621.38/Р860

    Румак, Н. В.
    Диэлектричекие пленки в твердотельной микроэлектронике [Текст] / Н.В. Румак, В.В. Хатько ; АН БССР,Физ.-техн.ин-т. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.:с.181-189(225 назв.). - ISBN 5-343-00540-3 : Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--производство

Держатели документа:
Республиканская научно-техническая билиотека

Доп.точки доступа:
Хатько, В.В.
Экземпляры всего: 2
ХР (2)
Свободны: ХР (2)