Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.38/Д182/Д 18
Автор(ы) : Данилин Б.С.
Заглавие : Ионное травление микроструктур.
Выходные данные : М.: Сов.радио, 1979
Колич.характеристики :104 с.: ил.
Цена : Б.ц.
ГРНТИ : 47
УДК : 621.382
Предметные рубрики: Микроструктуры.
Экземпляры : всего : 11ХР(2)
Свободны : 11ХР(2)
Держатели документа:
Северо-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана