Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Д182/Д 18 Автор(ы) : Данилин Б.С. Заглавие : Ионное травление микроструктур. Выходные данные : М.: Сов.радио, 1979 Колич.характеристики :104 с.: ил. Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47 УДК : 621.382 Предметные рубрики: Микроструктуры. Экземпляры : всего : 11ХР(2) Свободны : 11ХР(2) Держатели документа: Северо-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана |