Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 669/Р815/Р 81 Автор(ы) : Рощин Владимир Михалович, Рощин, Владимир Михайлович, Силибин, Максим Викторович Заглавие : Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: В 2-х ч./ В. М. Рощин, М. В. Силибин. Ч.2. Выходные данные : М.: БИНОМ Лаборатория знаний, 2010 - Колич.характеристики :180 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с.180 ISBN, Цена 978-5-94774-913-7: 1770.00 тг. ГРНТИ : 29.19.22 + 47.03 УДК : 669.053:539.23-022.532(075) + 621.38-022.532(075) Предметные рубрики: Физика наноструктур Электроника Экземпляры :ЧЗ(1) Свободны : ЧЗ(1) Держатели документа: Акмолинский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Силибин, Максим Викторович