Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.5/В 148 Автор(ы) : Ильин, Александр Анатольевич Заглавие : Вакуумная ионно- плазменная обработка : учеб.пособие для вузов Выходные данные : М.: Альфа-М; М.: ИНФРА-М, 2014 Колич.характеристики :157 с.: ил. Серия: Современные технологии. Магистратура Примечания : Библиогр.: с.150-155 (51 назв.) ISBN, Цена 978-5-98281-366-4: 1725 тг. ISBN, Цена 978-5-16-009188-4: Б.ц. ГРНТИ : 81.29 УДК : 621.52(075.8) Предметные рубрики: Вакуумные установки Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Ильин, Александр Анатольевич