Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539/Б 492 Автор(ы) : Берлин, Евгений Владимирович, Сейдман, Лев Александрович Заглавие : Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : монография Выходные данные : М.: Техносфера, 2014 Колич.характеристики :255 с.: ил. Серия: Мир материалов и технологий Примечания : Библиогр.: с.242-255 (261 назв.) ISBN, Цена 978-5-94836-369-1: 2580 тг. ГРНТИ : 29.19.04 УДК : 539.216.2:621.793.7 Предметные рубрики: Получение тонких пленок магнетронным распылением Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактивное распыление--хемосорбция--ионная имплантация--парциальное давление реактивного газа Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович