Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 544(07)/Г 124 Автор(ы) : Гаврилов А. С., Белов А. Н. Заглавие : Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие . -2-е изд. Выходные данные : М.: РИОР; М.: Инфра-М, 2014 Колич.характеристики :240 с ISBN, Цена 978-5-369-01299-4 (РИОР): 2300.00 тг. ISBN, Цена 978-5-16-009298-0 (ИНФРА-М, print): Б.ц. ГРНТИ : 47.09.48 УДК : 544.653.2/.3(075.8) + 620.3(075.8) + 621.382-022.532(075.8) Предметные рубрики: Электрохимия прикладная-- технологии наноструктур-- анодное окисление Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноразмерные кластеры металлов--поверхность полупроводников--матричное осаждение--нитевидные нанокристаллы--постоянный ток--реверсивный режим Содержание : Законы и положения теории электродных процессов ; Процессы анодного растворения и технологии микро- и наноструктур ; Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур ; Катодное осаждение в технологии микро-и наноструктур Экземпляры :05-ОБ(1) Свободны : 05-ОБ(1) Держатели документа: Восточно-Казахстанский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Белов, А. Н.