Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 681.5/А 224/А22 Заглавие : Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие Выходные данные : М.: Высш. шк., 1991 Колич.характеристики :333 c.: ил Примечания : Библиогр.: с. 332 Цена : 1-60 тг. ГРНТИ : 47.03.05 УДК : 681.5(075.8) Предметные рубрики: Интегральные схемы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные--производство--диоды--полупроводники--тиристоры--транзисторы Экземпляры : всего : ЧЗ(1), ХР(1) Свободны : ЧЗ(1), ХР(1) Держатели документа: Жамбылский филиал РНТБ Казахстана Павлодарский филиал РНТБ Казахстана Доп.точки доступа: Сазонов, А.А. \ред.\