Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539/Э474 Заглавие : Эллипсометрия: теория,методы,приложения : Сб.науч.тр. Выходные данные : Новосибирск: Наука.Сиб.отд-ние, 1991 Колич.характеристики :251 с.: ил Примечания : Библиогр.в конце ст ISBN, Цена 5-02-029916-2: Б.ц. ГРНТИ : 29.19.01 УДК : 539.211.082.5 Предметные рубрики: Эллипсометрия Экземпляры : всего : ХР(3) Свободны : ХР(3) Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Свиташев, К.К. \ред.\