Вид документа : Шифр издания : Р3239/90/К96 Автор(ы) : Кушнарев Р.Б.и др., Гумматова Л.В., Колесников Б.Я. Заглавие : Методы определения конечной точки процессов сухого травления Выходные данные : Алма-Ата, 1990 Колич.характеристики : 44 с. Примечания : Библиогр.в конце текста Цена : Б.ц. УДК : 621.382.049.77.002:621.794.4 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--травление Экземпляры :(1) Свободны : (1) Держатели документа: Республиканская научно-техническая библиотека Казахстана Доп.точки доступа: Гумматова, Л.В.; Колесников, Б.Я.