Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.794/Д182 Автор(ы) : Данилин, Борис Степанович, Киреев, Валерий Юрьевич Заглавие : Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов Выходные данные : М.: Энергоатомиздат, 1987 Колич.характеристики :262 с.: ил Разночтения заглавия :Загл. на корешке: Применение плазмы для травления и очистки Примечания : Библиогр.: с.252-260 (195 назв.) Цена : Б.ц. ГРНТИ : 55.22 УДК : 621.794.4:533.916 Предметные рубрики: Травление плазменное Экземпляры : всего : ХР(2) Свободны : ХР(2) Держатели документа: Республиканская научно-техническая билиотека Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич