621.315/Д 182
Данилин, Б. С.
Магнетронные распылительные системы [Текст] : монография / Б. С. Данилин. - М. : Радио и связь, 1982. - 73 с. : ил. - Библиогр.: с.69-72 (82 назв.) . - Б. ц.
ГРНТИ
45.09
УДК
621.315.592-416.002:621.793.7.06
Рубрики:
Пленки тонкие--Получение
Распылители магнетронные
Экземпляры всего:
2
ХР (2)
Свободны:
ХР (2)