Карпман, И. М. Лазерная термолитография в производстве интегральных схем [Текст] : монография / И. М. Карпман, М. Н. Либенсон, Е. Б. Яковлев. - Л. : ЛДНТП, 1981. - 26 с. : ил. - (Прогрессивная технология обработка конструкций материалов и изделий (механическая, электрофизическая и другие методы обработки, сварка, защитные покрытия) / Ленингр.Дом науч.-техн.пропаганды ). - Библиогр.: с.25 (15 назв.) . - Б. ц.
Доп.точки доступа: Либенсон, М.Н.; Яковлев, Е.Б. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |