621.38/Д420    Д 42     Джоветт, Ч. Е.     Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники [Текст] : пер.с англ. / Ч.Е. Джоветт. - М. : Металлургия, 1980. - 112 с. : ил. - Библиогр.:с.106-111. - Б. ц. ГРНТИ 47.33.31 УДК 621.382.049.772.002 Рубрики: Микроэлектроника Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1)