621.38/Б 438

    Белоус, Анатолий Иванович.
    Основы технологии микромонтажа интегральных схем [Текст] : монография / А. И. Белоус, В. А. Емельянов. - М. : ДМК Пресс, 2013. - 315 с. : ил. - Библиогр.: с.297-315 (227 назв.) . - ISBN 978-5-94074-864-9 : 3375 тг.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные
Кл.слова (ненормированные):
тонкопленочные покрытия -- гальванические ванны


Доп.точки доступа:
Емельянов, Виктор Андреевич
Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)