Багрий, И. П. Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС [Текст] : монография / И.П. Багрий; АН УССР, Ин-т кибернетики им. В.М.Глушакова. - Киев : ИК, 1989. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 20 (12 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Чечко, Г.А. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |