Д 18 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов [Текст] / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 262 с. : ил. - Загл. на корешке : Применение плазмы для травления и очистки. - Библиогр.: с.252-260 (195 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |