621.793/О-224         Оборудование ионной имплантации [Текст] / В.В. Симонов и др. - М. : Радио и связь, 1988. - 182 с. : ил. - Библиогр.: с170-181 (69 назв.) . - ISBN 5-256-00007-1 : Б. ц. ГРНТИ 55.22 УДК 621.793.184.06 Рубрики: Ионное легирование--Установки Доп.точки доступа: Симонов, В.В. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1)