Р3239/90
   К 96


    Кушнарев, Р. Б.
    Методы определения конечной точки процессов сухого травления [Текст] : депонированная рукопись / Р. Б. Кушнарев, Л. В. Гумматова, Б. Я. Колесников. - Алма-Ата : [б. и.], 1990. - 44 с. - Библиогр. в конце текста. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Твердотельные приборы


Доп.точки доступа:
Гумматова, Л.В.; Колесников, Б.Я.
Экземпляры всего: 1
ЦСПВ (1)
Свободны: ЦСПВ (1)