Ф 50 Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников [Текст] : монография / Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова. - М. : Радио и связь, 1982. - 137 с. : ил. - Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.). - Б. ц.
Доп.точки доступа: Луфт, Б.Д.; Перевощиков, В.А.; Возмилова, Л.Н. Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |