Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Г 487 Автор(ы) : Гимпельсон В.Д., Локтаев В.С. Заглавие : Технология гибриднопленочных микросхем : учеб.пособие Выходные данные : М., 1971 Колич.характеристики :105 с.: ил. Коллективы : М-во высш.и сред.спец.образования РСФСР. Моск.авиац.технол.ин-т Примечания : Библиогр.: с.103-104 (65 назв.) Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.776(07) Предметные рубрики: Микросхемы пленочные -- производство Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Локтаев, В.С.; М-во высш.и сред.спец.образования РСФСР. Моск.авиац.технол.ин-т