Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/М 749 Автор(ы) : Мокеев О.К., Романов А.С. Заглавие : Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учеб.пособие для техн.училищ Выходные данные : М.: Высш.шк., 1979 Колич.характеристики :272 с.: ил. Серия: Профтехообразование: Радиоэлектроника Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.382.002(075.32) + 621.382.049.77(075.32) Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы Микроэлектронные схемы Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Романов, А.С.