Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/П 140 Автор(ы) : Палатник Л.С., Сорокин В.К. Заглавие : Материаловедение в микроэлектронике : монография Выходные данные : М.: Энергия, 1978 Колич.характеристики :279 с.: ил. Серия: Электронное материаловедение Примечания : Библиогр.: с. 268-278 Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.13.12 УДК : 621.382.049.74 Предметные рубрики: Микроэлектронные схемы Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Сорокин, В.К.