Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/И 205 Автор(ы) : Иванов-Есипович Н.К. Заглавие : Технология микросхем : учеб.для вузов Выходные данные : М.: Высш.шк., 1972 Колич.характеристики :256 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с.253-254 (51 назв.) Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.772(075.8) Предметные рубрики: Микросхемы пленочные Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)