Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Б 484 Автор(ы) : Березин А.С., Мочалкина О.Р. Заглавие : Технология и конструирование интегральных микросхем : Учеб.пособие по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электрон.техники" . -2-е изд., перераб.и доп. Выходные данные : М.: Радио и связь, 1992 Колич.характеристики :319 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с.316-317 (20 назв.) ISBN, Цена 5-256-01014-X: Б.ц. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382.049.77.002(075.8) + 621.382.049.77.001.66(075.8) Предметные рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные Экземпляры : всего 1: ХР(2) Свободны : ХР(2) Доп.точки доступа: Мочалкина, О.Р.