Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Д420/Д 42 Автор(ы) : Джоветт Ч.Е. Заглавие : Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники : Пер.с англ. Выходные данные : М.: Металлургия, 1980 Колич.характеристики :112 с.: ил. Примечания : Библиогр.:с.106-111 Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.772.002 Предметные рубрики: Микроэлектроника Экземпляры : всего 3: ХР(1) Свободны : ХР(1)