Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/М 341 Автор(ы) : Андреев В.М. Заглавие : Материалы микроэлектронной техники : монография Выходные данные : М.: МАИ, 1992 Колич.характеристики :23 с. Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.09 УДК : 621.382.049.77(075.8) Предметные рубрики: Материалы микроэлектронной техники Экземпляры : всего 2: ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Андреев, В.М.