Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Б 438 Автор(ы) : Белоус, Анатолий Иванович, Емельянов, Виктор Андреевич Заглавие : Основы технологии микромонтажа интегральных схем : монография Выходные данные : М.: ДМК Пресс, 2013 Колич.характеристики :315 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с.297-315 (227 назв.) ISBN, Цена 978-5-94074-864-9: 3375 тг. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.77 Предметные рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные покрытия--гальванические ванны Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Емельянов, Виктор Андреевич