Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Б 900 Автор(ы) : Бубенников А.Н. Заглавие : Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем : учеб.пособие для вузов по спец."Физика и технол.материалов электрон.техники" Выходные данные : М.: Высш.шк., 1989 Колич.характеристики :319 с.: ил Примечания : Библиогр.:с.315. - Предм.указ.:с.316-317 ISBN, Цена 5-06-000123-7: Б.ц. ГРНТИ : 47.03.05 УДК : 621.382.049.77(075.8) Предметные рубрики: Интегральные схемы большие-- Моделирование Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные--электронные--полупроводники Экземпляры : всего 2: ХР(2) Свободны : ХР(2)