|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/А 676 Автор(ы) : Анищенко, Лев Михайлович, Лавренюк, Сергей Юрьевич, Петрухин, Владимир Викторович Заглавие : Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники : монография Выходные данные : М.: Радио и связь, 1995 Колич.характеристики :175 с Примечания : Библиогр.:с.171-176 (117 назв.) ISBN, Цена 5-256-00577-4: Б.ц. ГРНТИ : 47.14.07 УДК : 621.382.049.776.21 Предметные рубрики: Интегральные микросхемы-- проектирование Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные гибридные микросхемы--моделирование--аспатр Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1) Доп.точки доступа: Лавренюк, Сергей Юрьевич; Петрухин, Владимир Викторович |