Салеев, Д. В.     Разработка подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем [Текст] / Д. В. Салеев // КИП и автоматика обслуживание и ремонт. - 2018. - № 10. - С. 25-45. - Библиогр.: с. 9 назв. Рубрики: Автоматизация производственных процессов Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- управление качеством. Аннотация: Работа посвящена разработке алгоритмов подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем. Ключевой особенностью предлагаемой подсистемы оптимизации производства интегральных схем является модуль управления, в котором используются алгоритмы управления с подстройкой параметров модели. Держатели документа: РНТБ