Толстенок, О. А.     Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков [Текст] : материал технической информации / О.А. Толстенок, Т.А. Холомина // Измерительная техника. - 2004. - №8. - С. 66-71. - Библиогр.: 6 назв. Рубрики: Измерения радиотехнические Кл.слова (ненормированные): датчик давления -- кремниевая мембрана -- передача энергии -- полупроводник Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Холомина, Т.А.