Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра [Текст] : материал технической информации / А.Н. Королев, В.И. Коротков, А.Я. Лукин, С.А. Пулькин, А.Л. Сизов // Измерительная техника. - 2005. - №4. - С. 29-33. - Библиогр.: 9 назв. Рубрики: Измерения линейные и угловые Кл.слова (ненормированные): интерференция -- нанометрология -- мера высоты -- нанотехнологии Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Королев, А.Н.; Коротков, В.И.; Лукин, А.Я.; Пулькин, С.А.; Сизов, А.Л.