Прокопук, В. И.     Математическая модель процесса получения покрытий при химическом осаждении из газовой фазы в условиях термоциклирования подложки. Ч. 2 [Текст] : материал технической информации / В. И. Прокопук, А. Г. Ермилов // Цветные металлы. - 2006. - №1 . - С. 62-67. Рубрики: Техническая электрохимия Держатели документа: Усть-Каменогорск Доп.точки доступа: Ермилов, А.Г.