Применение виртуального растрового электронного микроскопа для определения диаметра проецирующей микролинзы атомного нанолитографа [Текст] / А. В. Заблоцкий, П. Н. Мелентьев [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 11. - С. 2-7. - Библиогр.: 15 назв. Рубрики: Атомно-проекционный нанолитограф Кл.слова (ненормированные): мембраны -- нитрид кремния -- оптика Доп.точки доступа: Заблоцкий, А.В.; Мелентьев, П.Н.; Шешин, Е.П.; Батурин, А.С.; Балыкин, В.И.; Коростылев, Е.В.; Лапшин, Д.А.; Кузин, А.А.