Зеленцов, Ю. А.     Уровень технологии изготовления металлопленочных датчиков [Текст] : материал технической информации / Ю.А. Зеленцов, В.Ю. Зеленцов // Метрология. - 2007. - № 5. - С. 24-33. - Библиогр.: 11 назв. Рубрики: Измерения механические Кл.слова (ненормированные): тонкопленочная микроэлектроника -- тензочувствительная схема -- ультразвук -- микроэлектроника Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Зеленцов, В.Ю.