Данилова, М. А.     Тест-объект с шириной линии менее 10 нм для растровой электронной микроскопии. [Текст] : материал технической информации / М. А. Данилова, В. Б. Митюхляев [и др.] // Измерительная техника. - 2008. - № 8. - С. 20-23. - Библиогр.: 17 назв. Рубрики: нанометрология Кл.слова (ненормированные): растровый электронный микроскоп -- тест-объект -- ширина линии -- линейные размеры -- рельефные структуры Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Митюхляев, В.Б.; Новиков, Ю.А.; Озерин, Ю.В.; Раков, А.В.; Тодуа, П.А.