Белозубов , Е. М.     Проектирование упругих элементов нано- и микроэлектромеханических систем. [Текст] : материал технической информации / Е. М. Белозубов , В. А. Васильев // Измерительная техника. - 2011. - № 1. - С. 17-19. - Библиогр.: 8 назв. Рубрики: нанометрология Кл.слова (ненормированные): проектирование -- моделирование -- нано- и микроэлектромеханическая система -- упругий элемент -- мембрана с жестким центром -- тензоэлемент -- деформация Держатели документа: РНТБ Доп.точки доступа: Васильев, В.А.